關於潔淨室
潔淨室(Clean Room)，亦稱無塵（chén）車間、無塵室或清淨室。潔（jié）淨室的主要功能為室內汙（wū）染控製，沒有潔淨室，汙染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵，潔淨（jìng）室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間（jiān），其中特定的（de）規（guī）則的（de）操（cāo）作程序以控製空氣懸浮微（wēi）粒（lì）濃度，從（cóng）而達到適當的（de）微粒潔淨（jìng）度級別。潔淨程度和控製汙（wū）染的持續穩定性，是檢驗潔淨室質量的核心標準，該標準根據區域環境、淨（jìng）化程度等因素，分為若幹等級，常用的有國際標準和國內區域行業標準，一些（xiē）知名淨（jìng）化工程公（gōng）司，在通行標準（zhǔn）之外，還設有自身執行的高於國際化通行標準的（de）淨化指標，淨化能力和環境適應力遠超國際品牌（pái）。
1簡介
潔淨室是指將（jiāng）一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等（děng）之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內（nèi）壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動（dòng）及照明、靜（jìng）電控（kòng）製在某一需求範圍內，而所給予特（tè）別設計之房（fáng）間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有（yǒu）維持原先所設（shè）定要求之潔淨（jìng）度、溫濕度及壓力等性能（néng）之特性。
潔淨室最主要之作用（yòng）在於控製產品（如（rú）矽（guī）芯片等（děng））所接觸之大氣的潔淨度（dù）日及溫濕度，使產品能在一個良好之環（huán）境空間（jiān）中生產、製造，此空間我們稱之為潔淨室。按照國際慣例（lì），無塵（chén）淨化（huà）級（jí）別主（zhǔ）要是（shì）根據每立方米空氣（qì）中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就（jiù）是說所謂無塵並非100%沒有一（yī）點（diǎn）灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個（gè）標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常（cháng）見的灰塵已經是小的微乎（hū）其微，但是對於光學構造而（ér）言，哪怕是一點點的灰塵都會（huì）產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品的（de）生產上，無塵是（shì）必然的要求。
每立方（fāng）米（mǐ）將小於0.3微米粒徑（jìng）的微塵數量控製在3500個以下，就達到了（le）國際無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對於灰（huī）塵的要求高（gāo）於A級，這（zhè）樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生（shēng）產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控製在每立方英寸1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
空態：已經建造完成並可以投入使用的（de）潔淨室（設施）。它具備所有（yǒu）有（yǒu）關的服務和（hé）功能。但是，在設施內（nèi）沒有操作人員操作的設備。
靜態：各種（zhǒng）功能完備、設定安裝（zhuāng）妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔淨室（shì）（設施），但（dàn）是（shì）設施內沒有操作人員。
動態：處於正常使用的潔淨室，服務功能完善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的工（gōng）作。
單向流（層流）潔淨室原理
在潔淨室內，從送風（fēng）口到回風口，氣流流經途（tú）中的斷麵幾乎沒有什（shí）麽變（biàn）化，加上（shàng）進風靜壓箱和高效過濾器的均壓均（jun1）流作用，全室斷麵上（shàng）的流速比（bǐ）較（jiào）均勻，而至（zhì）少在工作區內流線（xiàn）單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔淨（jìng）室的三大特點。這裏的流線單向平行（háng），是指時均流線彼此平行，方向單一。
單向流潔淨室的流態從雷諾數判斷是（shì）紊流的，所以所謂層流潔淨室的層流和流（liú）體力學上的層流是完全不同的概念。因此，層流潔淨室這個名詞是不貼切的，國外某（mǒu）些標準和文（wén）章也指（zhǐ）出這一點，例如英國標（biāo）準BS-5295就（jiù）曾把所謂層流潔淨室定義（yì）為單向流潔淨室，隻是照（zhào）顧習慣在括號（hào）中注明為層流。前聯邦德國標（biāo）準VDl- 2083則用“非紊（wěn）流的置換流”這一術語，並在注中指出，層流這一概念隻是為了區別早於層流潔淨室出現的紊（亂）流（liú）潔淨室而在當時采用（yòng）的習慣用語，“層流係統”的確切意思（sī）並不是分層流動（dòng），而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的（de）漸變流。在流體力學中，這種流動狀態（tài）也可稱平行流或（huò）單向（xiàng）流。1977年中國在《空氣潔淨技術措施》中選用了“平行流”這個術語，在該（gāi）術語（yǔ）後麵同時也指（zhǐ）出習慣上稱（chēng）“層流”。
在單向流潔淨室內，幹（gàn）淨氣流不是一股或幾股，而是充滿全（quán）室（shì）斷麵，所以這（zhè）種潔淨室不是靠潔淨氣流對室內髒空（kōng）氣（qì）的摻混稀釋作用，而是靠潔淨氣（qì）流推出作用將室內髒空氣沿（yán）整（zhěng）個斷麵排至室（shì）外，達到淨化室內空氣（qì）的目的。所以，前聯邦（bāng）德（dé）國有人稱單向（xiàng）流潔淨（jìng）室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空（kōng）氣射流”。幹淨空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒（lì）隻能前（下）進，沒有返回，把原有的（de）含塵濃度高（gāo）的空氣擠壓出（chū）房間。
在單向流潔淨室以及單向流淨化設備中，可以發現沿壁的和兩個（gè）過濾器搭接處下方的反向氣流（liú）。這種氣流將把下方的汙染傳輸到上（shàng）部（bù）再送下來，破壞了（le）上（shàng）述（shù）“活塞流”的狀態，危害極大。對於和外界有開口相通的局部淨化設備，例如潔淨工作台，這種氣流將引射（shè）外界汙染氣流，在設計上一定要減小過濾器（qì）邊框（kuàng）處所占（zhàn）的無效麵積（jī），更要設法使空間的壁麵盡量接近過濾器有效迭風（fēng）截麵。
通過上麵（miàn）分析（xī），可以認為保證（zhèng）單向流潔淨室特性（高潔淨度和快速自淨（jìng）恢複能力）的重要先決條件有兩個：①來流的潔淨度；②來（lái）流的活塞流（liú）情況；
對於來流的潔淨度，對通過高效以上過濾器送風的單向流潔淨室（shì）來說是不成問題的，而對於來（lái）流的“活塞（sāi）流（liú）”情況，則需作進～步分析。
根據流體力學原（yuán）理，來流條件對以後的流（liú）動狀況（kuàng）將有直接的重要影響（xiǎng），送風麵出口氣流也就是工作區的來流（liú）。
來流的紊動性大，則（zé）將影響後（hòu）麵的單向流特性；來流未充滿流動（dòng）截麵，則將影響後麵是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而（ér）來流未充滿流動截麵也是（shì）來流素動的（de）一個因（yīn）素。所（suǒ）以（yǐ），在采用高效過濾器的條件下，保證單向流潔淨室特（tè）性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的（de）必要條件則是來流充滿流動截麵。但是，對一（yī）間房間而不是一段管道來說，讓氣流從頭至尾完全充滿流動（dòng）截麵也是不現實的。
最初，確實認為這（zhè）種（zhǒng）單向平行的氣流應該充（chōng）滿整個（gè）潔淨室，但這在技術上和經（jīng）濟上都是不利的（de）。隨著認識的發展（zhǎn），人們又指出這種單向流隻是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線以等速流動的意思”，並認為能極力抑製渦流的發生。通過全空間（jiān）的清潔（jié）空氣的單向流（liú）特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流潔淨（jìng）室。這就是說，不要求在整個房間都具有單（dān）向平行的流線，均勻的速度，沒（méi）有渦流，而（ér）是隻要求單向（xiàng）平行流特性（xìng）在這個房間中（zhōng）占支配地（dì）位，例如（rú）在整個工作區這一層空間保證了單向流，這個房間就是單向流（liú）潔淨室。前麵介紹過的國內外有關標（biāo）準、措施中關於單向流潔淨室達到（dào）的高潔（jié）淨度，就是（shì）指在工作區內（nèi）達到的潔（jié）淨度。因（yīn）此，密集布置的流線型散流器頂送和全孔板（bǎn）頂（dǐng）送，也被作為實（shí）現垂直單向流的手段使用（yòng）。
亂流原理
潔淨室按其氣流狀態（tài）來區分，主要分為（wéi）亂流（非單向流）潔淨室、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也（yě）有稱矢流潔淨室的），這一節主要（yào）討（tǎo）論亂（luàn）流（liú）潔淨室。前（qián）麵已經（jīng）指出（chū），不論是哪（nǎ）一種潔淨室，都是紊流流（liú）態。那為什麽不都叫紊流潔淨室呢（ne）？
亂流潔淨室的名稱是借用於日文，但（dàn）是日文的亂（luàn）流就是紊流的意思，而中國最早在《空氣潔淨技術（shù）措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同於流體力學上的紊流這（zhè）一專有名詞。國際上習慣（guàn）稱這種潔淨室（shì）為（wéi）非單向流潔淨室。
所謂亂流潔淨室，一般（bān）包括以下各（gè）種送風形式：
⑴高效過濾器頂送（有擴散板和無擴（kuò）散板
⑵流線型散流器頂進
⑶局部孔板（bǎn）頂（dǐng）送
⑷側送（sòng）
具有這些送（sòng）風形式的潔（jié）淨室，如以雷諾數判斷，顯然屬於紊流流態，但是如果把它們稱（chēng）為紊流潔淨室就不合適。氣流沿整個頂棚下送，室內速（sù）度達到0.25m/s 以上，這種室（shì）內的流（liú）動狀態也是（shì）紊流，但（dàn）在後麵就會搞清楚，雖然這兩種（zhǒng）送風方式都造成室內紊流流態，但是就其淨（jìng）化室內（nèi）空氣的原理來說，卻是（shì）根本不同的，後者屬於單（dān）向流（liú）或平行流潔（jié）淨室的淨化原理。所以（yǐ）如果把前者稱為紊（wěn）流潔淨室，則後者也應被包含進去了。
亂流潔淨（jìng）室的主要特點是從來流到出流（liú）（從送風口到回風口）之間（jiān）氣流（liú）的（de）流通（tōng）截麵是變化的，潔淨室截麵比送（sòng）風口截麵大得（dé）多，因而不能在全室截麵或（huò）者在全（quán）室工作區截麵形成勻速氣流。所以，送（sòng）風口以（yǐ）後的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能（néng）以單一方向流動，將（jiāng）會彼（bǐ）此撞擊，將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔淨室的流態實質是：突變（biàn）流；非均勻流。
這比用紊流來描述亂流潔（jié）淨室更確切、更（gèng）全麵。紊流（liú）主要決定於（yú）雷諾數，也就是主要受流（liú）速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流（liú）速極低，也（yě）要產生上（shàng）述各種結果，這就因為（wéi）它是一個突變流和（hé）非均勻流。因此這（zhè）種情況下不僅有流層之（zhī）間（jiān）因紊流流動而（ér）發生的摻混，而且還有全室範圍內（nèi）的大的回流、旋渦所發生的摻混。
所以，概（gài）括地說，亂流潔淨室（shì）的作用（yòng）原理是：當一股幹淨氣流從送風口送入室內時（shí），迅速向四周擴散、混合，同（tóng）時（shí）把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨氣流稀（xī）釋著室內汙染的空（kōng）氣，把原來含塵濃度很高的室（shì）內空氣衝淡了，一直達到平衡。所以氣流（liú）擴散得越快，越均勻（yún），稀釋的效果就越好。所以亂流潔（jié）淨室的原理就是稀釋作用。
2所需材料（liào）
潔淨室在進行淨化工（gōng）程施工的時候（hòu），需要用到以下（xià）設備：
A． 裝飾結構類：
1：潔淨室所需要的淨化設備主要有：風淋室（shì）貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風口（分為普（pǔ）通高效送風口（kǒu），一體化高效送風口，可（kě）更換濾網的高效送風口） 泄壓閥 風量調節閥等，潔淨室做好後有的局部淨化級別要求特別高，因此我（wǒ）們推薦客戶使用潔淨工作台，潔淨（jìng）棚等淨（jìng）化（huà）設備。
2：圍體結構彩鋼板（bǎn）（各種鋁型材 槽鋁 T型大梁鋁 角鋁 外形柱鋁 外圓片 三維接頭（tóu） 門堵頭 內圓弧線 門料 窗料等） 輔助材料角鐵（tiě） 圓鋼 膠塞 白功釘 拉爆鉤等（děng））
B．空調通風部分：
1.空調通風部分主（zhǔ）要材料有空調主機，送（sòng）回風管，鍍鋅水管（或者PVC水管（guǎn）） 水塔（tǎ） 閘（zhá）閥水泵 Y型過濾器（qì） 橡膠軟管（guǎn） 止（zhǐ）回閥 水流開關 溫（wēn）度計 壓力表 水過濾器 各種管碼
2：通風（fēng）部分的（de）主要材料有中效增壓箱 風閥 風量（liàng）調節閥 初效（xiào）防雨百葉 風回百葉 初效過濾器 中效過濾器（qì） 高效過濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種輔材（cái）
C． 電器部分：
1、空調電路
  2、淨化設備電路
  3、照明（míng）電路（lù）
D． 地麵部分：
   1、環氧樹（shù）脂（zhī）地坪
  2、PVC地（dì）板（bǎn）
  3、高架地板地麵
3所需設備
風淋室
風淋室係列產品是一種通用性較強的（de）局部淨化設備，安裝於潔淨室與非潔淨室之間。當人與（yǔ）貨（huò）物要進入潔淨區時需經風淋室吹淋，其吹出的潔淨空（kōng）氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃（āi），能有效的阻斷或減少塵源進入潔淨區。風淋室/貨（huò）淋室（shì）的前後兩（liǎng）道門為（wéi）電子互鎖，又可起到氣閘的作用（yòng），阻止未淨化（huà）的空（kōng）氣進入潔淨區域。
貨淋室（shì）
貨淋（lín）室，固名思義，即為貨物專用的吹淋室，又稱之（zhī）為貨淋通道、貨淋門、廣泛適用（yòng）於電子，食（shí）品、包裝企業的物（wù）流通道處，對即將進入潔淨車間進行操作（zuò）加工的貨物原材料及工具進行吹淋，達到過濾去除灰塵粒子，進入無塵車間的原材料潔淨的效果.因每個企業（yè）物流通道的現場尺寸以及需要吹淋的貨物原材料運輸方式大小的不同，故貨淋（lín）室沒有統一的標準，全部為非（fēi）標產品。貨淋在功能上既有普通型貨淋室，又有紅外線語（yǔ）音提示型貨（huò）淋室，還有自動移門式貨淋室。
傳遞（dì）窗
傳遞（dì）窗主（zhǔ）要適用於潔淨區（qū）與非潔淨區之間，或潔淨室與潔淨室之間（jiān）的小貨物傳遞，可有效的減少潔（jié）淨室門的開啟（qǐ）次（cì）數，把潔（jié）淨區的汙染減少的最低程度。根據使用要求，傳遞窗（chuāng）箱體表麵可噴塑，內膽可用不鏽鋼，外表美觀。傳遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖（suǒ）裝置，可有效的防止低潔淨等級區內（nèi）的灰塵帶入高潔淨區內，是淨化車間必備佳品。
高效送風口
本產品為萬級，十萬級（jí）亂（luàn）流潔淨室新建，改建工（gōng）程淨化空調係統終端送風裝（zhuāng）置。可廣泛應用與電子（zǐ）工業，精（jīng）密機械，冶金，化工等工（gōng）業及醫療（liáo），製藥，食品等部門的（de）淨化空調係統。本裝置主要由靜壓箱，高效過濾器，鋁合金擴散板，標（biāo）準法蘭接口等組成，造型美觀，結構簡單，使用（yòng）可靠。 本送（sòng）風口為下裝式，具有在潔淨室（shì）內安裝和更換過濾器方便的優點，高效過濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置，確保風口安裝無泄露，密封可靠，淨化（huà）效果好，對（duì）一般淨化工程均可適用。
潔淨（jìng）工作台
無（wú）塵車間內的（de）潔淨工作台可根據產品要求或其他用途的要求，在（zài）操作台上保持高潔淨度的局部淨化。潔淨工作（zuò）台可以在操作台的局部空間形成無菌、無塵的（de）局部（bù）淨化，其主要（yào）組成部件有預過濾器、高效過濾（lǜ）器、風機機組、外殼、靜壓箱、台麵和配套的電器元器件等。
  無塵車間的潔淨工作（zuò）台的構造要（yào）求：台麵，采用木質塑料貼麵貼於層壓板上做成台麵，或采用不鏽鋼做台麵；箱體，用熱紮薄鋼板與（yǔ）骨架氣焊易變（biàn）形，可采用冷軋薄板折邊（biān）搭接（jiē），大電流電焊，內表麵需粘貼消聲材料，最大尺寸應以通過一般房門（mén）為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區截麵應盡可能與空氣（qì）過濾器送風截麵相同，盡量減少盲區；風機、電機，選用高壓低噪（zào）的小型風機，風機與箱體的連接采用軟連接，電機及風機均應采取減振（zhèn）措施；燈（dēng）罩，日光燈要盡量設置在燈罩內（nèi），燈罩內要通過潔淨氣流；預過濾器，須設置預過濾器，容量要大，在使用風量下，初阻力宜小（xiǎo）於50Pa；高效過濾器，盡（jìn）量采用大麵積的過濾器，減少空氣（qì）過濾器的數量，過濾器與框架之間的密封應采用封導結合的雙環密封係統。
FFU風機過濾單元
風機過濾單元（FFU）是一種空（kōng）氣（qì）自淨裝置，可室內吊頂安裝或放置在（zài）支架上，使（shǐ）局部級別達（dá）到（dào）百（bǎi）級。也可用於潔（jié）淨室末端送風。該產品設有初、高效兩級過濾裝置。風機從（cóng）頂部將空氣吸（xī）入並經初、高效過濾（lǜ）器過濾，過濾後的潔淨空氣在整個出風口送出。安（ān）裝方式有懸掛式和落地支架兩種。
  風（fēng）機從FFU頂部將空氣吸入並經初、高效過濾器過（guò）濾，過濾後的潔淨空氣（qì）在整個出風麵以0.45M/S±20%的風速（sù）勻速送出。它為不同尺寸（cùn）大小，不同潔淨度等級的潔淨室、微環境提供高質量的潔（jié）淨空氣。在新建潔淨室、潔淨廠房式改造翻新中，即（jí）可提（tí）高潔淨度級別，降低噪音和振動，也可大大降低（dī）造價（jià），安裝維護方便，是潔淨環境的理想部件。
層流罩（zhào）
層流罩（zhào）一種可提供局部高（gāo）清潔環境的空（kōng）氣淨化設（shè）備。它主要有箱體，風機（jī），初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。阻尼層（céng），燈具等組（zǔ）成，箱體噴塑或采用不鏽鋼材料。該產品即可以懸掛，又可地麵支撐，結構（gòu）緊湊，使（shǐ）用方便。可以單個（gè）使用，也可多（duō）個聯接組成帶狀潔淨區域。廣泛用於精（jīng）密機械，電子，製藥，食（shí）品，精細化工等部門。
4控管項目
1、能除去空氣中飄遊之微塵（chén）粒子。
2、能防止（zhǐ）微塵（chén）粒子之產生。
3、溫度（dù）和濕（shī）度之控製。
4、壓（yā）力之（zhī）調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之（zhī）氣密性。
7、靜電（diàn）之防製。
8、電磁幹擾預防。
9、安全因（yīn）素之考慮。
10、節能之考（kǎo）量。
5淨化方法
空氣淨化方法（fǎ）
1 、整體淨化：可分為層流型和（hé）湍流型。層流是（shì）指空氣由一側全麵地以同速流（liú）向另一側，使（shǐ）室內產（chǎn）生的塵粒或細菌不會向四周擴散而被平推出室外，而達到好的除菌效果。
⑴高效過濾除菌技術：空氣潔淨主要靠高效或超高效過（guò）濾設備，向特定的環境內輸送潔淨空氣並能（néng）保持空氣的潔淨度（dù）。過濾潔淨原理：①網截（jié）阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運動（dòng）阻留。因（yīn）此，過濾潔淨技術是一（yī）種綜合作用的結果。
⑵濾材結構：生物潔淨室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材（cái），所用濾材有：玻璃（lí）棉製濾材、高級紙漿製濾材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高（gāo）效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以（yǐ）上（shàng）。
2 、局部淨化
⑴潔淨層流罩：潔淨層流罩是醫院局部空氣淨化（huà）裝置（zhì）。一般可（kě）構成垂直層（céng）流方式，四（sì）周用透明圍幕。整個罩內可保持高潔淨度（萬級至百級（jí））空氣。這種潔（jié）淨層（céng）流罩可用於免疫（yì）功（gōng）能低下病人（rén）的治療保護，所以也稱無菌病床層流罩。
⑵淨化操作台（tái）：采（cǎi）用水平或垂直層流方式淨化箱體內的空氣，可使操作（zuò）台內淨化（huà）達到很高級別。
⑶靜電吸附除菌淨化技術：靜電（diàn）吸附除菌是利用工業電除塵的原理，在小（xiǎo）型化技術方麵有所創新。①采用細線放電極與蜂巢（cháo）狀鋁箱收集極形成級線裝（zhuāng）置；②采用鏡象力荷電吸附作用。
目前有一種三級淨化（huà）裝置，即預過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸附除菌，並采用（yòng）大風量空氣淨化，以保證室內空氣淨（jìng）化次數，較好地解決了醫院重點部門如手術室（shì）、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持續消毒問題，可使醫院室內空氣的淨化（huà）潔淨度達到 10 萬級 ~1 萬級。
⑷負離子（zǐ）淨化技術：負離子是一種帶負電的化學基團，能發生可逆性（xìng）變化，存在時間極短，本身並無殺（shā）滅微生物的能力，主要是靠帶（dài）電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合，形成多個顆粒凝聚變大從而迅（xùn）速沉降，使空氣達到淨化的目的。空氣中負離子隻有在具（jù）備某些化學性質時，如活性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質的能力從而殺（shā）滅微生物（wù），因此負（fù）離子（zǐ）對空（kōng）氣淨化的能力比較有限，對空氣中微生物粒子清除率隻能達到 70%~90%。
6工作方式（shì）
亂流式
空氣由空調箱經（jīng）風管（guǎn）與潔淨（jìng）室內之空氣過濾器（HEPA)進入潔（jié）淨（jìng）室，並（bìng）由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則（zé）之亂流或渦流狀（zhuàng）態。此型式適（shì）用於潔淨室等級1,000-100,000級。
定義：氣流（liú）以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的（de）潔淨室。
特性：亂流潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別。換氣次數決定（dìng）定（dìng）義中的淨化級別（換氣次數越多，淨（jìng）化級（jí）別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設（shè）計換氣次數開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鍾） （可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鍾） （可取25min計（jì）算） 100,000級希望不超過40min（分鍾） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 （規範：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規範：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規範（fàn）：15次/小時）
優點：構（gòu）造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用（yòng）無塵工作台，提高潔淨（jìng）室等級。
缺點：亂流（liú）造成的微（wēi）塵粒子於室內空間（jiān）飄浮不（bú）易排出，易（yì）汙染製程產（chǎn）品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度（dù），往往須耗時相當長一段時間（jiān）。
層流式
層流式空氣氣流運（yùn）動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器（qì）進入室內，並由高架地板或兩側（cè）隔牆板回風，此型式適（shì）用於潔淨室等級需定（dìng）較高之環境使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹（chuī）出（chū），由對邊牆壁之回風係統（tǒng）回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側汙染較嚴（yán）重。
優點：構造（zào）簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
⑵垂直層流式：房（fáng）間天花板完全以ULPA過（guò）濾器（qì）覆（fù）蓋，空氣（qì）由上往（wǎng）下吹，可得較高之潔（jié）淨度，在製程中或工（gōng）作人員（yuán）所產生的塵埃（āi）可快（kuài）速排出室（shì）外而不會影（yǐng）響其它（tā）工作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即（jí）可達穩定狀態（tài），不易為作業狀態或（huò）作（zuò）業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊（diào）架相當占空間（jiān），維修（xiū）更換（huàn）過濾器較麻煩。
複合式
複合式為將（jiāng）亂（luàn）流（liú）式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。
⑴潔淨隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作（zuò）區（qū）域100%覆蓋（gài）使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。
此型式需（xū）將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質（zhì），ULSI製程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項（xiàng）優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區（qū）輕易執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品（pǐn）流程經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之（zhī）潔淨度，可節省能源，不需人工的自（zì）動化生（shēng）產線為最適（shì）宜（yí）使用（yòng）。藥品（pǐn）、食品業界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔淨室（Clean Spot）：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室（shì）內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為（wéi）生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚（péng）、潔淨（jìng）風櫃即屬此類（lèi）。
潔淨工作台：等級Class 1~100級。
潔（jié）淨工作（zuò）棚：為在亂（luàn）流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一（yī）小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級（jí）之潔淨空間，其（qí）等級為10~1000級，高度在2.5米左右（yòu），覆蓋麵積約（yuē）10m2以下，四支支柱（zhù）並加裝活動輪，可為彈性運用。
7風速控製
潔淨室（shì）內的氣（qì）流是左右潔淨室性能的重要因素，一般潔淨（jìng）室的（de）氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人（rén）、機器等的動作而幹擾趨於混亂、雖（suī）提高（gāo）風速可抑製此一擾亂之影響而保持潔（jié）淨度、但因風速的提高，將（jiāng）影響運轉成本的增加，所以應在（zài）滿足（zú）要求的潔（jié）淨度水準（zhǔn）之時，能以最適當的風速供（gòng）應，以達到適當的風（fēng）速供應以達到經濟性效果。
另一方麵欲達到潔淨室潔淨度之穩定效果（guǒ），均一氣流之保持亦為一重要（yào）因素，均（jun1）一（yī）氣流若無法保持，表示風速有（yǒu）異，特別是在壁麵（miàn），氣流會延著壁麵發（fā）生渦流作用，此時要（yào）實現高潔淨度事實上很困難。
垂直層（céng）流式方向要保持均一氣流（liú）必須：（a）吹出麵的風速（sù）不可有速（sù）度上的（de）差（chà）異；（b）地板回風（fēng）板吸入麵之風速不（bú）可有速度上的差異。速度過（guò）低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度（dù），氣流則較均一，一般潔淨室，其（qí）風速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影響因素
影響潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨室組（zǔ）裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的（de）分流點，亦應（yīng）列（liè）入考慮因素（sù）。
一般操（cāo）作台或生產設備等表麵的氣流分流點，應設於潔淨室（shì）空間與隔牆（qiáng）板間距2/3之處，如此可使作（zuò）業人員工作時，氣流可從製（zhì）程區內部（bù）流向作業區，而將微塵（chén）帶走；若分流點配置在製程區前方，將成為不當的氣（qì）流分流（liú），此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業員（yuán）操（cāo）作所引起的（de）塵埃將被帶到設備後麵，工（gōng）作台因而將受到（dào）汙染，良率也勢必降低（dī）。
潔淨室內的工作桌等（děng）障礙物，在相（xiàng）接處均會有渦流現象發生，相對地（dì）在其附近之潔淨度（dù）將會較差，在工作桌麵鑽上回風孔，將使（shǐ）渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當（dāng）、設備布局是否完善，亦為（wéi）氣流是否成為（wéi）渦流現象之（zhī）重要（yào）因素。
潔淨室的構成是由下列各項係統所（suǒ）組成（在所組成的係統分子中是（shì）缺一不可的），否則將無法構成（chéng）一完整且品（pǐn）質良好的潔淨（jìng）室：
⑴天花板係（xì）統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（liáng）（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（liáng）（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空調係統：包括空氣艙、過（guò）濾（lǜ）器係統、風車等（děng）。
⑶隔牆板（Partitional wall）：包括窗戶（hù）、門。
⑷地板：包括（kuò）高架（jià）地板或防靜電舒美地板。
⑸照明器（qì）具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔淨室之建築主體構造，一般（bān）是用鋼筋或（huò）骨（gǔ）水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
●不會因溫（wēn）度變化與振動而發生裂痕；
●不易產（chǎn）生微塵粒子，且很難附（fù）著粒子；
●吸濕性小；
●為了維（wéi）持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
9重要性
潔淨室的潔淨度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所（suǒ）產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
潔淨室（shì）係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵（chén）埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過（guò）此過濾器過濾的空氣可說十分幹淨。然而潔淨室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法（fǎ）保持（chí）潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速（sù）排出室外。
10應用領（lǐng）域
工業
以無生命微粒的控製為對象。主（zhǔ）要控製空氣塵埃（āi）微粒（lì）對工作對象的汙染（rǎn），內部一般保持正壓狀態。它適用於精（jīng）密機械工業、電（diàn）子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化（huà）學工業（yè）、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電（diàn）腦磁頭（tóu）生產等多行業。
生物（wù）
主要控製有生命微粒（細菌）與無生命（mìng）微（wēi）粒（塵埃（āi））對工作對象的汙染。又可分為：
A、 一般生物潔淨室：主要控（kòng）製微生物（細菌）對象的（de）汙染。同時其內部材料要能經受各種滅（miè）菌（jun1）劑侵蝕（shí），內部一般保證正壓。實質上其內部材（cái）料要能經受各種滅菌處理的工業（yè）潔淨室。例：製藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料（liào）產品生產、動（dòng）物實驗（yàn）室、理化檢驗室、血（xuè）站等。
B、 生物學安（ān）全潔淨室：主要控（kòng）製工作（zuò）對（duì）象的有生命微（wēi）粒對外界（jiè）和人（rén）的汙染。內部要保持與大氣的負壓。例（lì）：細菌學、生物學（xué）、潔淨實驗室、物物工程（重組基因、疫苗（miáo）製備）。
相關知識
11工作量
發塵量
潔淨室內的發塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內；產（chǎn）品，材料等在（zài）運送過程（chéng）中的（de）發塵與人體發塵量相（xiàng）比，一般極小（xiǎo），可忽略；由於金屬（shǔ）半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建築表（biǎo）麵的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左右。在人的發塵量上，由於服裝材料和樣式的改進，發塵絕對量也不斷減少。
A、材質（zhì）：棉質發塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜（jìng）電純滌綸（lún）、尼（ní）龍（lóng）。
B、樣式：大掛式發（fā）塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少。
C、活動：動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍。
D、清洗：用溶劑洗滌（dí）的發塵量降至用（yòng）一般水（shuǐ）清洗的五分之一。
室內維護結構（gòu）表麵發塵量，以地麵為準，大約（yuē）相應8平方米地麵時的表（biǎo）麵（miàn）發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。
發菌量
工作人員產生（shēng）的汙染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次（cì）皮膚（fū）的完全脫換（huàn），人類每分鍾脫落約1000片皮膚（平均（jun1）大小為30*60*3微米）
2）頭發：人類的（de）頭發（fā）（直徑約為50~100微米（mǐ））一直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日（rì）常衣物：微粒、纖維、矽土、纖維素（sù）、各種化學品和細菌。
5）人類靜止和坐立每分鍾將產（chǎn）生10000個大於0.3微米的（de）微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動作時每（měi）分鍾將產生1000000個大於0.3微米的（de）微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走（zǒu）時每分（fèn）鍾（zhōng）將產（chǎn）生5000000個大於0.3微米的微粒。
分析（xī）國外試驗資料可（kě）以認為：
⑴ 潔（jié）淨室內當工作人員穿無菌服時：
靜止時的發菌量一般為（wéi）10-300個/min.人
軀體一般活動時的發菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳（ké）嗽一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿（chuān）平常衣服（fú）時發菌量 3300~62000個（gè）/ min.人
⑷ 無口罩（zhào）發菌量：有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內事例：
⑹ 手術中人（rén）員發菌量 878個/ min.人
所以，可知潔淨（jìng）室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不超過300個/ min.人（rén），動態發菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據是可行的。
12執行標準
國（guó）內標準
⑴.潔淨廠房設計規範 GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建築技術（shù）規範GB50333-2002
⑶.醫藥工業（yè）潔淨廠房設計規（guī）範GB 50457-2008
⑷.傳染病醫（yī）院建築設計規範
⑸.醫藥工業潔淨室（區）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手冊
⑺.GMP藥品生產質量管理規範
⑻. 潔淨室施工及驗收規範GB 5091-2010
際標準（zhǔn）
ISO係列
⑴ISO14644-1空氣潔淨度等級劃分（fèn）
⑵ISO14644-2 為認（rèn）證ISO14644-1的 連續的相符性的測試（shì）和監（jiān）測技術要求（qiú）
⑶ISO14644-3 測試方法（fǎ）
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（háng）（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔淨空（kōng）氣罩、手套箱、分離器和微循環設備
⑻ISO14644-8 分子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學品（液體）
IEST係列（liè）
潔淨空氣：
RP-CC001高效與超高效過濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔淨室測試RP-CC007超高（gāo）效過濾器測試
RP-CC008氣體吸收裝（zhuāng）置
RP-CC021高效與超（chāo）高效（xiào）過濾器過濾器介質測試（shì）
RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏
潔淨（jìng）室與（yǔ）潔淨環境：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔（jié）淨室設計要點
RP-CC016潔淨（jìng）室非揮發性殘留（liú）物質的沉積率
RP-CC018潔淨室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔淨室與受控環境中的靜電
RP-CC023潔淨室中（zhōng）的微生物
RP-CC024微電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔淨（jìng）室與受控環境（jìng）中人員與行為
特殊應用（yòng）：
RP-CC029使用噴漆器要考慮的汙染控製（zhì）因素
運行保障（zhàng）：
RP-CC003淨室與受控環境的服裝係統要點
RP-CC004淨室與受控環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受控環境用手套和指套
RP-CC020潔（jié）淨室文件（jiàn）材料與格式
設備：
RP-CC002單向（xiàng）流裝置
RP-CC013設備校（xiào）準與檢驗程序
RP-CC015潔淨室生產設備與輔助設備
術語：
RP-CC011汙染控製領域術語（yǔ）和定義
文獻：
RP-CC009汙（wū）染控製領域的標準、準則（zé）、方法與相關文件概覽
詳細（xì）參數
潔淨標準與（yǔ）潔淨等級 (ISO 國際標準）
各粒徑檔最大容許粒子濃度 （顆/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔淨度應按下表規定劃分（fèn）為四個等級。
空氣（qì）潔淨度等級表
等級
每立方米（每升）空氣中
≥0.5微米塵粒（lì）數
每立方米（每升）空氣中
≥5微米塵粒數
100級
≤35×100(3.5)
1000級
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：對於空氣潔淨度為（wéi）100級（jí）的潔淨室內大於等於5微（wēi）米塵粒的計算應進行多次采樣。當（dāng）其（qí）多次出現時，方可認為該（gāi）測試數值是（shì）可*的。
13應用範圍
淨化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業，在電子信（xìn）息、半導體、光電子、精密（mì）製造、醫藥（yào）衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗（tú）等眾（zhòng）多（duō）行業均有應用（yòng），並（bìng）根據行業的精密與無塵要求，等（děng）級差別也較（jiào）大。
目前級別（bié）最高的當屬航天航空的航空倉（cāng），基本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對（duì）較小。
另（lìng）外（wài）對級別要求較高（gāo）的是（shì）生物化學實（shí）驗室和高精納米材料生產車間，互聯網芯片的發展將是未（wèi）來需求的一大方（fāng）向。
14八大特點
第一點，采用更適合（hé）潔淨（jìng）室原理的圓弧轉（zhuǎn）角；
第二點，係統自動控製運行，雙門電子互鎖，並設有光電感應器，單向通道風淋室，從非潔（jié）淨區進入，關門後（hòu）紅外線感應有人就吹淋，吹淋後入門鎖閉，隻能從出門走出風淋室；
第三點，整體冷軋鋼板製作，外表麵（miàn）靜電（diàn）噴塑處理；
第四點，門、底板、噴嘴均（jun1）采用不鏽鋼製造，美觀大方；
第五點，軟鍵觸（chù）按式時間繼電器，LED顯（xiǎn）示及設置吹淋時間，範圍在10-99s可調，吹淋時雙門自動鎖閉；
第六點，采用初、高效兩級過濾係統，有隔板高效過濾器，過濾效率為：99.99%，確保淨化級別；
第七點（diǎn），風嘴（zuǐ）出風口風速高達25m/s以上，吹到人體上風速18m/s以（yǐ）上；
第八點，采用EVA密封材料，密閉性能（néng）高。
15人員規範
為了避免和減少潔淨室從業人員對（duì）潔淨（jìng）室造成的汙染。任何潔淨室工作以外的人員，在與潔淨室工作人員捷星接觸（chù）談話時，要將自己背對過去，因為口鼻會向注視的方興散發汙染。
做到口鼻（bí）不對（duì）潔淨室的（de）工作（zuò）區。
如果出現咳嗽或者打噴嚏的情況，要做到（dào）背對潔（jié）淨室的工作區（qū）用手套掩住，然後及時更換手套。情（qíng）況嚴（yán）重的者應立即離開潔淨室區（qū）域（yù），並向（xiàng）領（lǐng）導報告。
潔淨室內不得放置於潔淨室工（gōng）作無關的物品。潔淨室工作物品要排放有序。
當設備不能正常運轉的時候，不要私自維修，要向領導報告，等專業人員對（duì）潔淨室進行維（wéi）修。
另外，由於（yú）潔淨室對（duì）潔淨度有著（zhe）過高（gāo）的要（yào）求。因此，對潔淨室的工作人員的身體方麵的狀況要（yào）求是很嚴格的。
患有呼吸道疾病的人，由於會對潔淨室的空（kōng）氣造成汙染，故不能進入潔（jié）淨室（shì）工作
患有結（jié）膜炎或者其他產生分泌物的病症，或者患有皮膚（fū）類（lèi）疾病的人員都是不適合在（zài）潔淨室工作的。
另外需要注意的，潔（jié）淨室的工作人員要對自己的口腔衛生，保持注意。潔淨室（shì）工作人員要定期的（de）進行身體（tǐ）健康狀況的檢查
16運行節能
●潔（jié）淨室送風、排風、新風之間應切換自如（rú），如（rú）生產停止、排（pái）風櫃也應（yīng）停（tíng）止或減小風量，新風也應調（diào）小。
●工藝並非絕（jué）對要求值（zhí）班風機運行保（bǎo）護的，應采用提前（qián）開機自淨的辦法。
●潔淨室通風機轉（zhuǎn）速（sù）使（shǐ）其壓頭可以控製，不要總（zǒng）處於最大壓頭或最大風量運（yùn）行的工況（kuàng）。
●運行應最（zuì）大限度地利（lì）用室外空（kōng）氣冷（lěng）卻（què）作用，並在此時增大新風比。
●潔淨室應根據室外氣象條件變化，通過自控或（huò）手控即能調整設備出力。
●縮小潔淨空間體積，如潔淨隧道或隧道式潔淨（jìng）室，根據生產要求把潔淨空間劃分為潔淨度級別不同的工藝區、操作區、維修區和通道區。